精準的檢測是超精密光學加工的基礎,沒有準確的測試數據便無法實現超精密光學加工。UPEC經過多年的實踐積累,擁有多種光學檢測方法及技術手段,憑借豐富的專業技術實力,獲上海市科委授牌“上海市專業技術服務平臺光學自由面檢測”。
我們可提供高精度光學球面/非球面測量?、白光干涉儀表面粗糙度測量?、
超精密非球面輪廓檢測、特殊面型及光學系統檢測、高精度形位尺寸測量。
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檢測能力
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主要技術參數
試驗產品 | 試驗檢測儀器 | 公測準確度 |
高誤差光學反應球面鏡鏡、非球面鏡鏡面型預估 | 打攪儀、ASI | PV λ/50 |
超精密鑄造非球面鏡輪廊測試 | 輪廓線儀 | PV λ/10 |
高精確度三坐標系測定 | 三經緯度 | 0.3+L/100 μm |
白光燈干預儀表盤面粗糟度估測 | 白光燈涉及儀 | Ra 0.1nm |